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      科研成果

      一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备

      专利名称: 一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备
      英文名称: 一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备
      专利类别: 发明
      申请号: 200910080128.2
      申请日期: 2009-03-09
      授权日期: 2011-12-21
      专利号: ZL200910080128.2
      第一发明人: 江潮
      其它发明人: 王秋来; 刘双
      国外申请日期:
      国外申请方式:
      专利授权日期: 2011-12-21
      缴费情况:
      实施情况:
      专利证书号:
      专利摘要:
      其它备注:
         

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