| 专利名称: | METAL OPTICAL GRAYSCALE MASK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF | ||||||||
| 英文名称: | METAL OPTICAL GRAYSCALE MASK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF | ||||||||
| 专利类别: | 发明 | ||||||||
| 申请号: | 12/960418 | ||||||||
| 申请日期: | 2010-12-03 | ||||||||
| 授权日期: | 2012-05-22 | ||||||||
| 专利号: | US 8,133,642 B2 | ||||||||
| 第一发明人: | 郭传飞 | ||||||||
| 其它发明人: | 刘前,曹四海,王永胜 | ||||||||
| 国外申请日期: | |||||||||
| 国外申请方式: | |||||||||
| 专利授权日期: | 2012-05-22 | ||||||||
| 缴费情况: | |||||||||
| 实施情况: | |||||||||
| 专利证书号: | |||||||||
| 专利摘要: | |||||||||
| 其它备注: | |||||||||
|
|||||||||