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科研成果

刻蚀装置以及图形的转移方法

专利名称:

刻蚀装置以及图形的转移方法

英文名称:

专利类别:

发明

申请号:

CN201810433250.2

申请日期:

2018-05-08

授权日期:

2020-10-16

专利号:

ZL201810433250.2

第一发明人:

刘鹏冲

其它发明人:

李鹏; 刘薇; 裘晓辉

国外申请日期:

国外申请方式:

专利授权日期:

2020-10-16

缴费情况:

实施情况:

专利证书号:

专利摘要:

其它备注: