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      科研成果

      一种自对准石墨烯场发射栅极结构及其制备方法

      专利名称: 一种自对准石墨烯场发射栅极结构及其制备方法
      英文名称:
      专利类别: 发明
      申请号: CN202110793595.0
      申请日期: 2021-07-12
      授权日期: 2023-11-03
      专利号: ZL202110793595.0
      第一发明人: 戴庆
      其它发明人: 刘冠江; 李驰; 李振军
      国外申请日期:
      国外申请方式:
      专利授权日期: 2023-11-03
      缴费情况:
      实施情况:
      专利证书号:
      专利摘要:
      其它备注:
         

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