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    Fabrication-resolution enhancement method based on low-energy multiple exposures

    论文编号:
    作者: Lei Wang
    刊物名称: Opt. Express
    所属学科:
    论文题目英文: Fabrication-resolution enhancement method based on low-energy multiple exposures
    年: 2015
    卷: 23
    期: 23
    页: 29353-29359
    联系作者: Qian Liu
    收录类别:
    影响因子:
    参与作者:
    备注:
       

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