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论文

Fabrication of single-crystal silicon nanotubes with sub-10 nm walls using cryogenic inductively coupled plasma reactive ion etching

论文编号:
作者: Li, ZQ
刊物名称: Nanotechnology
所属学科:
论文题目英文: Fabrication of single-crystal silicon nanotubes with sub-10 nm walls using cryogenic inductively coupled plasma reactive ion etching
年: 2016
卷: 27
期: 36
页: 365302
联系作者: Chu, WG; Duan, HG
收录类别:
影响因子:
参与作者:
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