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    科研成果

    带有氧化物掩模的局域微缩光刻膜

    专利名称: 带有氧化物掩模的局域微缩光刻膜
    英文名称: 带有氧化物掩模的局域微缩光刻膜
    专利类别: 发明
    申请号: 200710065294.6?
    申请日期: 2007-04-10
    授权日期: 2011-3-30
    专利号: ZL200710065294.6
    第一发明人: 刘前
    其它发明人: 曹四海; 郭传飞; 李晓军
    国外申请日期:
    国外申请方式:
    专利授权日期: 2011-3-30
    缴费情况:
    实施情况:
    专利证书号:
    专利摘要:
    其它备注:
       

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