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科研成果

一种纳米级铝的刻蚀方法

专利名称: 一种纳米级铝的刻蚀方法
英文名称:
专利类别: 发明
申请号: 201410048607.7
申请日期: 2014-2-11
授权日期: 2015-12-9
专利号: ZL201410048607.7
第一发明人: 徐丽华
其它发明人: 董凤良,苗霈,宋志伟,闫兰琴,褚卫国
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期: 2015-12-9
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
   

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