科研成果
一种低应力硅化合物超厚膜材料，制备方法及用途
| 专利名称: |
一种低应力硅化合物超厚膜材料，制备方法及用途
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| 英文名称: |
一种低应力硅化合物超厚膜材料，制备方法及用途
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| 专利类别: |
发明
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| 申请号: |
201310451286.0
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| 申请日期: |
2013-9-7
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| 授权日期: |
2015-9-9
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| 专利号: |
ZL201310451286.0
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| 第一发明人: |
宋志伟
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| 其它发明人: |
褚卫国
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| 国外申请日期: |
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| 国外申请方式: |
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| 专利授权日期: |
2015-9-9
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| 缴费情况: |
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| 实施情况: |
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| 专利证书号: |
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| 专利摘要: |
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| 其它备注: |
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当前位置：