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科研成果

一种氮氧化硅膜材料及其制备方法和用途

专利名称: 一种氮氧化硅膜材料及其制备方法和用途
英文名称: 一种氮氧化硅膜材料及其制备方法和用途
专利类别: 发明
申请号: 201410811907.6
申请日期: 2014-12-23
授权日期: 2016-10-9
专利号: ZL201410811907.6
第一发明人: 宋志伟
其它发明人: 褚卫国
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期: 2016-10-9
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实施情况:
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专利摘要:
其它备注:
   

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