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科研成果
一种顶栅结构的超薄硫化铪光电晶体管及其制备方法
专利名称:
一种顶栅结构的超薄硫化铪光电晶体管及其制备方法
英文名称:
专利类别:
发明授权
申请号:
CN201610227869.9
申请日期:
2016-04-13
授权日期:
2018-05-25
专利号:
ZL201610227869.9
第一发明人:
何军
其它发明人:
许凯; 王振兴
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
2018-05-25
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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