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科研成果

一种顶栅结构的超薄硫化铪光电晶体管及其制备方法

专利名称: 一种顶栅结构的超薄硫化铪光电晶体管及其制备方法
英文名称:
专利类别: 发明授权
申请号: CN201610227869.9
申请日期: 2016-04-13
授权日期: 2018-05-25
专利号: ZL201610227869.9
第一发明人: 何军
其它发明人: 许凯; 王振兴
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期: 2018-05-25
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
   

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