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    科研成果

    低品质因子微悬臂探针、其制备方法及显微镜

    专利名称: 低品质因子微悬臂探针、其制备方法及显微镜
    英文名称:
    专利类别: 发明
    申请号: CN202110901520.X
    申请日期: 2021-08-06 00:00:00
    授权日期: 2023-06-23 00:00:00
    专利号: ZL202110901520.X
    第一发明人: 戴庆
    其它发明人: 胡德波; 赵九州; 罗成; 吴晨晨
    国外申请日期:
    国外申请方式:
    专利授权日期: 2023-06-23 00:00:00
    缴费情况:
    实施情况:
    专利证书号:
    专利摘要:
    其它备注:
       

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