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科研成果

一种利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的方法及装置

专利名称:

一种利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的方法及装置

英文名称:

专利类别:

发明

申请号:

CN202210239151.7

申请日期:

2022-03-11

授权日期:

2024-08-02

专利号:

ZL202210239151.7

第一发明人:

赵乐

其它发明人:

褚卫国; 闫兰琴; 宋志伟; 董凤良; 陈佩佩; 田毅; 胡海峰; 徐丽华

国外申请日期:

国外申请方式:

专利授权日期:

2024-08-02

缴费情况:

实施情况:

专利证书号:

专利摘要:

其它备注: